有些人可能不知道，但 AMC 微污染氣體的全名是氣體性分子污染物（Airborne Molecular Contamination），這些汙染物包括酸鹼性的氣體，來源非常多種，包括汽車排放的廢氣、大氣層的臭氧、工廠廢氣、化學溶劑和蝕刻揮發的氣體。
1. AMC氣體分子分類
本文依據氣體特性的不同，整理出 3 大類氣體，包括揮發性、鹼性、酸性。
美國國際半導體設備與材料公會（Semiconductor Equipment And Materials International，簡稱 SEMI），2002 年發布並在 2016 年重寫的 SEMI standard F21-1016 ，裡頭將各種 AMC會對半導體造成何種影響，並根據氣體特性、變化反應等特點分為 4 大種類，以利有需求的企業可以針對汙染控制、設備性能有個初步概念。
酸性
具有腐蝕性的物質，比如氫氟酸（HF）、硫酸（H₂SO₄）、氫氯酸（HCl）、硝酸（HNO₃）、磷酸（H3PO4）、氫溴酸（HBr），在分類當中被簡稱 MA。
鹼性
同樣具有腐蝕性物質，在化學反應中屬於提供電子的一方，容易跟酸性物質作用產生鹽類，比如氨（NH3）、氫氧化胺（NH₄OH）、甲基胺（CH3NH2）、二甲基胺（(CH3)2NH）、二乙醇胺（C4H11NO2），在分類當中被簡稱為 MB。
凝結物
在常溫常壓之下，凝結物的沸點只要高於室溫就會凝結在表面乾淨的物質上，包含半導體廠的晶圓，比如矽康（[-R2SiO-]n）、碳氫化合物（CnH2n+2），在分類當中被稱為 MC。
摻雜物
這類型化學元素和物質，會改變半導體材料的電性，比如硼（B）、磷（P）、砷（As），在分類當中被稱為 MD。
2. AMC 氣體的常見來源
雖然 AMC 是微汙染氣體的縮寫簡稱，不過實際上每種氣體的處理方式不同，本文也整理出相關內容。
廠房、室外的汙染
這裡的汙染多數都是在室外出現，而且散發的刺鼻味非常濃。這類型的廢氣進到半導體產業的室內前，多半會先經由 MAU 外氣空調箱初步過濾，接著才會順利進到無塵室內。
MAU 外氣空調箱主要過濾氣體有 HCl、H2SO4、HF、N2O、VOCs、SO2、H2S、O3、NH3、NOx、BEXT 等種類。
製程設備產生的氣體與化學物揮發
空氣進到無塵室內後就是透過 RCU 循環空調箱，進行內部循環過濾，主要過濾的對象是室內設備運作時，以及製程途中使用化學物時產生的 AMC，過濾器材則是使用摺景式、泡棉式的化學氣體過濾器。
RCU 循環空調箱主要過濾氣體有 NMP、HMDS、PGME、PGMEA、IPA、Acetone、Chlorine、Phthalates、B、P、NH3、Siloxanes等種類。
📖延伸閱讀：化學氣體過濾器：應用場域介紹
3.奇異科技 AMC 氣體污染物的解決方案
看完前面段落介紹的 AMC 種類及來源後，接下來要和各位介紹奇異科技，是如何針對客戶需求制訂 AMC 解決方案。
實地調查
實地評估企業環境及需求（粉塵檢測、AMC 採樣檢測……）
根源分析
經專業儀器檢測後，深入分析 AMC 源頭。
設計永續方案
根據客戶預算及需求，擬定防治計畫、化學濾網提案、完整品質管控，提供客戶全方位永續潔淨的解決方案。
專案執行
提供客戶最適合的施工方式、高規格公安……等客製化服務。
成效檢測
即時環境檢測、確實監控 AMC 現況，並提供臨時支援服務，以確保最終成效達到客戶需求與期望
奇異科技擁有強大的產程支持客戶需求，總計 14 條產線，每年生產的濾材數量高達 800 萬米，服務範圍不只限定台灣，日本、韓國、中國、泰國、越南、新加坡、菲律賓、美國、巴西、墨西哥、以色列、土耳其、英國、法國……。
奇異科技設立「機能性綠色環保濾材研發中心」（EcoGreen Functional Filter Media R&D Center）和配有先進測量設備的實驗室。多年營運下來深獲聯電（UMC）、美光（Micron）、三星半導體（Samsung）、格芯（Global Foundry）、京東方（BOE）、華星光電（CSOT）、中芯國際（SMIC）、惠而浦（Whirlpool）、霍尼威爾（Honeywell）、日月光（ASE）等大企業青睞與信任。
4.為什麼企業如此重視 AMC 氣體汙染物？
現今不論是飯店、醫院、工廠、藥廠、百貨等大型企業，都越來越注重可能影響人體健康與產品良率的 AMC ，其中又以半導體最為注重，原因如下：
追溯汙染源
半導體製程分為多個階段，每個階段都會投入不同類型的化學物質，因此也會產出諸多種類的 AMC。
假使產品真的受到 AMC 汙染，才有辦法追溯正確汙染源，並確保未來不會再發生類似狀況。
製程良率
過去半導體產業會針對較大顆粒的物質進行偵測，不過隨著製程精密程度上升，針對 AMC 的要求也更加嚴格，才會有前面提及的多種特性的氣體，都成為半導體產業的注重項目。
5. AMC 微汙染氣體可能造成的影響
晶圓或設備腐蝕
晶圓可能會遭到含有氟、氯的氣體侵蝕而腐蝕，製程設備的不鏽鋼同樣如此。
氣態分子影響
部分氣體可能會相互作用，接著產生顆粒堆積在光罩表面。另一種比較常見的例子，則是學校上課時，老師利用投影機撥放畫面時，會感覺到鏡頭前有類似霧霾的情形發生，可能會導致投射至螢幕上的光線減弱，或者是成像扭曲。
吸附在晶圓表面
前面提及部分 AMC 會改變產品電性，這是因為 AMC 吸附在晶圓表面之後，隨著後續製程擴散到晶圓底部，進而影響產品本身電性。
6. AMC 氣體汙染物是什麼？｜常見問題
7.解決 AMC 微汙染的專家｜奇異科技
8.補充資料
何謂 AMC 氣體污染物？詳細解答
AMC 氣體的全名是氣體性分子污染物，這些汙染物包括酸鹼性的氣體，來源非常多種，包括汽車排放的廢氣、大氣層的臭氧、工廠廢氣、化學溶劑和蝕刻揮發的氣體。
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