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何謂 AMC 氣體污染物?詳細解答

11 月 15, 2023 | 全部文章, 濾網小百科

有些人可能不知道,但 AMC 微污染氣體的全名是氣體性分子污染物(Airborne Molecular Contamination),這些汙染物包括酸鹼性的氣體,來源非常多種,包括汽車排放的廢氣、大氣層的臭氧、工廠廢氣、化學溶劑和蝕刻揮發的氣體。

1. AMC氣體分子分類


本文依據氣體特性的不同,整理出 3 大類氣體,包括揮發性、鹼性、酸性。

VOCs
揮發性有機化合物

BASEs
鹼性氣體

ACIDs
酸性氣體

有機氣體 VOC

乙醛 Aldehyde

硫化物 Sulfides

氮氧化物 NOx

甲醛 Formaldehyde

油漆氣味 Paint Odor

食品氣味 Food Odor

煙味
Tobacco Soke Odor

一般室外汙染物
Common Outdoor Pollutants

氨 / 阿摩尼亞 Ammonia

胺類 Amines

NMP

MNDS

動物氣味 Animal Odor

浴室氣味
Bathroom Odor

酸 NH3

硫酸 H2SO4

亞硫酸 H2SO3

二氧化硫 SO2

氯氣 Cl2

鹽酸 HCl

硫化氫 H2S

亞硝酸 HNO2

氟化氫 HF

溴化氫 HBr

VOCs 揮發性有機化合物

有機氣體 VOC

乙醛 Aldehyde

硫化物 Sulfides

氮氧化物 NOx

甲醛 Formaldehyde

油漆氣味 Paint Odor

食品氣味 Food Odor

煙味 Tobacco Soke Odor

一般室外汙染物
Common Outdoor Pollutants

BASEs 鹼性氣體

氨 / 阿摩尼亞 Ammonia

胺類 Amines

NMP

MNDS

動物氣味 Animal Odor

浴室氣味 Bathroom Odor

ACIDs 酸性氣體

酸 NH3

硫酸 H2SO4

亞硫酸 H2SO3

二氧化硫 SO2

氯氣 Cl2

鹽酸 HCl

硫化氫 H2S

亞硝酸 HNO2

氟化氫 HF

溴化氫 HBr

美國國際半導體設備與材料公會(Semiconductor Equipment And Materials International,簡稱 SEMI),2002 年發布並在 2016 年重寫的 SEMI standard F21-1016 ,裡頭將各種 AMC會對半導體造成何種影響,並根據氣體特性、變化反應等特點分為 4 大種類,以利有需求的企業可以針對汙染控制、設備性能有個初步概念。

酸性

具有腐蝕性的物質,比如氫氟酸(HF)、硫酸(H₂SO₄)、氫氯酸(HCl)、硝酸(HNO₃)、磷酸(H3PO4)、氫溴酸(HBr),在分類當中被簡稱 MA。

鹼性

同樣具有腐蝕性物質,在化學反應中屬於提供電子的一方,容易跟酸性物質作用產生鹽類,比如氨(NH3)、氫氧化胺(NH₄OH)、甲基胺(CH3NH2)、二甲基胺((CH3)2NH)、二乙醇胺(C4H11NO2),在分類當中被簡稱為 MB。

凝結物

在常溫常壓之下,凝結物的沸點只要高於室溫就會凝結在表面乾淨的物質上,包含半導體廠的晶圓,比如矽康([-R2SiO-]n)、碳氫化合物(CnH2n+2),在分類當中被稱為 MC。

摻雜物

這類型化學元素和物質,會改變半導體材料的電性,比如硼(B)、磷(P)、砷(As),在分類當中被稱為 MD。

2. AMC 氣體的常見來源


AMC 氣體的常見來源

雖然 AMC 是微汙染氣體的縮寫簡稱,不過實際上每種氣體的處理方式不同,本文也整理出相關內容。

廠房、室外的汙染

這裡的汙染多數都是在室外出現,而且散發的刺鼻味非常濃。這類型的廢氣進到半導體產業的室內前,多半會先經由 MAU 外氣空調箱初步過濾,接著才會順利進到無塵室內。

MAU 外氣空調箱主要過濾氣體有 HCl、H2SO4、HF、N2O、VOCs、SO2、H2S、O3、NH3、NOx、BEXT 等種類。

製程設備產生的氣體與化學物揮發

空氣進到無塵室內後就是透過 RCU 循環空調箱,進行內部循環過濾,主要過濾的對象是室內設備運作時,以及製程途中使用化學物時產生的 AMC,過濾器材則是使用摺景式、泡棉式的化學氣體過濾器。

RCU 循環空調箱主要過濾氣體有 NMP、HMDS、PGME、PGMEA、IPA、Acetone、Chlorine、Phthalates、B、P、NH3、Siloxanes等種類。

📖延伸閱讀:化學氣體過濾器:應用場域介紹

RCU 循環空調箱

3.奇異科技 AMC 氣體污染物的解決方案


奇異科技 AMC 氣體污染物的解決方案

看完前面段落介紹的 AMC 種類及來源後,接下來要和各位介紹奇異科技,是如何針對客戶需求制訂 AMC 解決方案。

實地調查

實地評估企業環境及需求(粉塵檢測、AMC 採樣檢測……)

根源分析

經專業儀器檢測後,深入分析 AMC 源頭。

設計永續方案

根據客戶預算及需求,擬定防治計畫、化學濾網提案、完整品質管控,提供客戶全方位永續潔淨的解決方案。

專案執行

提供客戶最適合的施工方式、高規格公安……等客製化服務。

成效檢測

即時環境檢測、確實監控 AMC 現況,並提供臨時支援服務,以確保最終成效達到客戶需求與期望

奇異產能示意圖

奇異科技擁有強大的產程支持客戶需求,總計 14 條產線,每年生產的濾材數量高達 800 萬米,服務範圍不只限定台灣,日本、韓國、中國、泰國、越南、新加坡、菲律賓、美國、巴西、墨西哥、以色列、土耳其、英國、法國……。

奇異相關實績示意圖

奇異科技設立「機能性綠色環保濾材研發中心」(EcoGreen Functional Filter Media R&D Center)和配有先進測量設備的實驗室。多年營運下來深獲聯電(UMC)、美光(Micron)、三星半導體(Samsung)、格芯(Global Foundry)、京東方(BOE)、華星光電(CSOT)、中芯國際(SMIC)、惠而浦(Whirlpool)、霍尼威爾(Honeywell)、日月光(ASE)等大企業青睞與信任。

了解更多

4.為什麼企業如此重視 AMC 氣體汙染物?


現今不論是飯店、醫院、工廠、藥廠、百貨等大型企業,都越來越注重可能影響人體健康與產品良率的 AMC ,其中又以半導體最為注重,原因如下:

追溯汙染源

半導體製程分為多個階段,每個階段都會投入不同類型的化學物質,因此也會產出諸多種類的 AMC。

假使產品真的受到 AMC 汙染,才有辦法追溯正確汙染源,並確保未來不會再發生類似狀況。

製程良率

過去半導體產業會針對較大顆粒的物質進行偵測,不過隨著製程精密程度上升,針對 AMC 的要求也更加嚴格,才會有前面提及的多種特性的氣體,都成為半導體產業的注重項目。

5. AMC 微汙染氣體可能造成的影響


晶圓或設備腐蝕

晶圓可能會遭到含有氟、氯的氣體侵蝕而腐蝕,製程設備的不鏽鋼同樣如此。

氣態分子影響

部分氣體可能會相互作用,接著產生顆粒堆積在光罩表面。另一種比較常見的例子,則是學校上課時,老師利用投影機撥放畫面時,會感覺到鏡頭前有類似霧霾的情形發生,可能會導致投射至螢幕上的光線減弱,或者是成像扭曲。

吸附在晶圓表面

前面提及部分 AMC 會改變產品電性,這是因為 AMC 吸附在晶圓表面之後,隨著後續製程擴散到晶圓底部,進而影響產品本身電性。

AMC 微汙染氣體總表
GEAF 化學濾網
GEAF 工業用濾網
專人服務 / 詢價

6. AMC 氣體汙染物是什麼?|常見問題


7.解決 AMC 微汙染的專家|奇異科技


奇異科技 是跨足半導體專用濾網(GEAF)與民生過濾材(SmartAir)的全方位濾網專家。許多產品也經過工業技術研究院(ITRI)及紡織產業綜合研究所測試認證,所有產品皆通過多項國內外認證,從研發到製造全程皆為 MIT,解決半導體廠與各式汙染問題。

奇異科技,永續潔淨方案的全方位專家。

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8.補充資料


何謂 AMC 氣體污染物?詳細解答
3精選改

AMC 氣體的全名是氣體性分子污染物,這些汙染物包括酸鹼性的氣體,來源非常多種,包括汽車排放的廢氣、大氣層的臭氧、工廠廢氣、化學溶劑和蝕刻揮發的氣體。

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