何謂 AMC 氣體污染物？詳細解答

有些人可能不知道，但 AMC 微污染氣體的全名是氣體性分子污染物（Airborne Molecular Contamination），這些汙染物包括酸鹼性的氣體，來源非常多種，包括汽車排放的廢氣、大氣層的臭氧、工廠廢氣、化學溶劑和蝕刻揮發的氣體。

1. AMC氣體分子分類

本文依據氣體特性的不同，整理出 3 大類氣體，包括揮發性、鹼性、酸性。

美國國際半導體設備與材料公會（Semiconductor Equipment And Materials International，簡稱 SEMI），2002 年發布並在 2016 年重寫的 SEMI standard F21-1016 ，裡頭將各種 AMC會對半導體造成何種影響，並根據氣體特性、變化反應等特點分為 4 大種類，以利有需求的企業可以針對汙染控制、設備性能有個初步概念。

2. AMC 氣體的常見來源

雖然 AMC 是微汙染氣體的縮寫簡稱，不過實際上每種氣體的處理方式不同，本文也整理出相關內容。

廠房、室外的汙染

這裡的汙染多數都是在室外出現，而且散發的刺鼻味非常濃。這類型的廢氣進到半導體產業的室內前，多半會先經由 MAU 外氣空調箱初步過濾，接著才會順利進到無塵室內。

MAU 外氣空調箱主要過濾氣體有 HCl、H₂SO₄、HF、N₂O、VOCs、SO₂、H₂S、O₃、NH₃、NOx、BEXT 等種類。

製程設備產生的氣體與化學物揮發

空氣進到無塵室內後就是透過 RCU 循環空調箱，進行內部循環過濾，主要過濾的對象是室內設備運作時，以及製程途中使用化學物時產生的 AMC，過濾器材則是使用摺景式、泡棉式的化學氣體過濾器。

RCU 循環空調箱主要過濾氣體有 NMP、HMDS、PGME、PGMEA、IPA、Acetone、Chlorine、Phthalates、B、P、NH₃、Siloxanes等種類。

📖延伸閱讀：化學氣體過濾器：應用場域介紹

3.奇異科技 AMC 氣體污染物的解決方案

看完前面段落介紹的 AMC 種類及來源後，接下來要和各位介紹奇異科技，是如何針對客戶需求制訂 AMC 解決方案。

奇異科技擁有強大的產程支持客戶需求，總計 14 條產線，每年生產的濾材數量高達 800 萬米，服務範圍不只限定台灣，日本、韓國、中國、泰國、越南、新加坡、菲律賓、美國、巴西、墨西哥、以色列、土耳其、英國、法國……。

奇異科技設立「機能性綠色環保濾材研發中心」（EcoGreen Functional Filter Media R&D Center）和配有先進測量設備的實驗室。多年營運下來深獲聯電（UMC）、美光（Micron）、三星半導體（Samsung）、格芯（Global Foundry）、京東方（BOE）、華星光電（CSOT）、中芯國際（SMIC）、惠而浦（Whirlpool）、霍尼威爾（Honeywell）、日月光（ASE）等大企業青睞與信任。

4.為什麼企業如此重視 AMC 氣體汙染物？

現今不論是飯店、醫院、工廠、藥廠、百貨等大型企業，都越來越注重可能影響人體健康與產品良率的 AMC ，其中又以半導體最為注重，原因如下：

5. AMC 微汙染氣體可能造成的影響

晶圓或設備腐蝕

晶圓可能會遭到含有氟、氯的氣體侵蝕而腐蝕，製程設備的不鏽鋼同樣如此。

氣態分子影響

部分氣體可能會相互作用，接著產生顆粒堆積在光罩表面。另一種比較常見的例子，則是學校上課時，老師利用投影機撥放畫面時，會感覺到鏡頭前有類似霧霾的情形發生，可能會導致投射至螢幕上的光線減弱，或者是成像扭曲。

吸附在晶圓表面

前面提及部分 AMC 會改變產品電性，這是因為 AMC 吸附在晶圓表面之後，隨著後續製程擴散到晶圓底部，進而影響產品本身電性。

6. AMC 氣體汙染物是什麼？｜常見問題

7.解決 AMC 微汙染的專家｜奇異科技

8.補充資料